早期的超精密机床坐标测量系统采用激光干涉测量方式。激光干涉测量是一种的标准几何量测量基准，但是易受环境因素（气压、湿度、温度、气流扰动等）影响。这类因素容易影响刀具控制，从而影响工件的表面加工质量。为此，美国LLNL的LODTM坐标激光测量回路采用了真空隔离和零温度系数的殷钢坐标测量框架技术。这也是激光坐标测量方面的应用。精加工厂订做服务***。

现今的超精密机床坐标测量系统大多采用衍射光栅。光栅测量系统稳定性高，分辨率可达纳米级。为了进一步获得较高的位置控制特性和表面加工质量，采用DSP细分，测量系统分辨率可达A°级。为了实现光学级的确定性超精密加工，机床必须具有纳米级重复***精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因素，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此，采用气浮、液浮等方式应用于轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。精加工厂订做服务***。

机床产生几何误差的内部因素指机床本身的因素导致的几何误差，如机床的工作台面的水平度、机床导轨的水平程度和直线度、机床刀具和夹具的几何准确程度等。外部因素主要是指在外部环境和加工过程中的热变形等因素影响下产生的几何误差，如刀具或零部件在切削过程中，由于受热膨胀、变形，从而产生几何误差，影响了机床的加工精度和零部件的加工精度。精加工厂订做服务***。

通过长期的零部件加工的数据分析和实践操作看出，机床***对于数控机床的加工精度有较大影响。数控机床的加工误差，从结构上看，多由***精度引起，其中机床的进给系统是影响***精度的主要环节。数控机床的进给系统通常由机械传动系统和电气控制系统两部分组成，***精度与结构设计中的机械传动系统有关。精加工厂订做服务***。