而“确定性”（Deterministic）超精密加工机床和可控制刀具（如金刚石刀具）能以极的空间运动轨迹直接加工成型具有光学镜面效果的产品。具有这种性能的机床不仅使加工效率得到了极大提高，还可实现传统方法难以加工处理的金属基、光学晶体等材料及非球类复杂形面元件的超精密加工。白云精加工工艺服务***。

超精密机床的高确定性取决于对影响精度性能的各环节因素的控制。这些控制品质常常要求达到当代科技的极限，如机床运动部件（导轨、主轴等）较高的运动精度和可控性（如摩擦、阻尼品质），机床坐标测量系统较高的分辨率、测量精度和稳定性，运动伺服控制系统较高的动、静态加工轨迹跟踪和***控制精度等。白云精加工工艺服务***。

超精加工所能达到的表面质量、面形精度与元件尺寸、形状、材料相关。未来反映机床精度水平的LODTM，加工精度稳定达到，表面粗糙度在1~5nm,面形精度可达亚微米（工件尺寸≥φ1000mm）。对于具有复合加工功能的机床，辅以测量技术还可进一步从加工工艺上提。白云精加工工艺服务***。

关于大尺度的发展应用，如适应未来空、强激光轻质、高刚性金属基主反射镜加工的超大型SLODTM机床；地基超大口径深空望远镜（如欧洲的Euro50（φ50m）、OWL（φ100m））拼接式离轴非球面镜（数米尺寸）加工的多轴超精密磨削加工等（图3）。近年来，太赫兹（THz）作为一门新兴技术得到了广泛重视。太赫兹频谱介于微波与红外之间。太赫兹的独特性能给反隐身探测、电子对抗、电磁、宽带通信、天文学、***成像、无损检测、安全检查等领域带来了深远的影响。太赫兹是未来超精密加工技术与机床广泛和重要的应用领域。白云精加工工艺服务***。

每次刮削前，为了辨明工件误差的位置和程度，需要在精密的平板、平尺、专用检具或与工件相配的偶件表面涂一层很薄的显示剂（也可涂在工件上），然后与工件合在一起对研（来回摩擦）对研后，工件表面的某些凸点便会清晰地显示出来，这个过程称为显点。常用的显示剂是油（氧化铁或氧化铅加机械油调制）或蓝油（普鲁士蓝与蓖麻油或机械油调制）。白云精加工工艺服务***。

显点后将显示出的凸起部分刮去。经过反复地显点和刮削，可使工件表面的显示点数逐步增多并均匀分布，这表示表面的形状误差在逐步减小。因此，刮削通常在机床行业内也称刮研。刮削表面的质量通常用25×25毫米面积内均布的显示点数来衡量。一般连接面要求有5～8点；一般导轨面要求有 8～16点；平板、平尺等检具的表面和滑动配合的精密导轨面要求有16～25点；某些测量工具的表面要求有25～30点。在刮削后的外露表面上，有时再刮一层整齐的鱼鳞状花纹或斜花纹以改善外观。在精刨、精铣或磨削后的精密滑动面上刮一层月牙花纹或链状花纹，可改善工作时的润滑条件，形成微观油槽，提高耐磨性。白云精加工工艺服务***。