常规的或者是大家可以想象到的微孔加工的工艺有：冲压加工，冲压加工主要是针对孔径在1.0mm以上，材料厚度在0.5mm以下的产品，并且主要针对孔数比较少的工件，因为密集型的工件冲压模具是无法完成的。数控冲，数控冲是近几年比较流行的工艺，数控冲具有、成本低的优势，数控冲是需要更换相应的冲头即可操作，不需要模具。数控冲主要针对的是大孔径和低密度的工件，对于0.5mm以下的孔径工件数控冲基本就没有任何优势了。

为此，它至少含有激光聚焦装置和观察瞄准装置两个部分。投影系统用来显示工件背面情况。工作台则由人工控制或采用数控装置控制，在三坐标方向移动，方便又准确地调整工件位置。工作台上加工区的台面一般用玻璃制成，因为不透光的金属台面会给检测带来不便，而且台面会在工件被打穿后遭受***。工作台上方的聚焦物镜下设有吸、吹气装置，以保持工作表面和聚焦物镜的清洁。

技术是20世纪80年代末出现的一种***制造技术[2]。采用快速原型技术可以对产品设计进行快速评价和修改，以及时响应市场需求，提高企业的竞争能力。熔融沉积造型作为一种快速原型制造工艺，是指采用热熔喷头将处于半流动状态的材料按CAD分层数据控制的路径逐层挤出，堆积、凝固后形成整个原型或零件[3]。常见的用于FDm的喷头口型直径约为0.2mm，属微小孔范围。目前如此微小的孔可以使用电火花、高速钻削以及激光等方法加工。激光加工工艺近年来发展较快，现在已经可以用激光在红、蓝宝石上加工直径为0.3mm、深径比为50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦极细的激光束方便地钻出直径为0.1～0.3mm的微小孔[5]。考虑到微小孔激光加工工艺的的优点及其应用日益增加的趋势，本文着重研究采用激光加工的微小孔内表面粗糙度的测量。