微孔加工的测量方法有哪些？

对于孔深小于1mm的通孔，可以借助放大镜比较粗略地观察该孔内壁的粗糙度。本研究采用反射式显微镜直接观察孔口内表面情况，作为实测粗糙度试验的对照。对于孔深达4mm的微小孔内壁粗糙度，显然无法用此方法准确测量。由于所测量的微小孔孔径较小，可控光源无法准确地深入孔内，故无法用光干涉原理的方法测量。若采用直接接触式测量方法，虽然探头直径比微小孔内径小，但与其连接的后续部分太大，使得探头无法深入微小孔内部进行直接测量。因此，笔者对微小孔采用剖分法，并用锥度为60°的轮廓仪对剖分后外露的微小孔内表面进行直接测量，以取得准确数据。

微孔加工利用液体厚膜或金属铝箔覆盖工件，能使孔的 锥度减小并防止液相飞溅。例如，石油可使孔的进出口处的熔化物积聚减少，硅树脂油可使孔的锥度降低。

为了及时防止熔化物积聚在孔里，可把汽化 温度低于被加工材料熔化温度的物质放到被加工工件的后面。目前使用的有石蜡、甘油、雪熔油等。

对于高反射率及透射率的工件加工前可作适当处理，例如，打毛或黑化，以增大对激光的吸收率。采用一些附加的工艺措施。

微孔加工——电火花加工： 电火花加工是另一种微孔加工方式。它的原理是基于工件和工具（正负极）之间脉冲性火花放电时的电腐蚀现象来蚀除多余的金属，以达到对零件的尺寸形状和表面质量预定的加工要求。电火花腐蚀的主要原因是：电火花放电时通道中瞬时产生大量的热，达到很高的温度，足以使金属材料局部融化，气化而被蚀除掉，形成放电凹坑。电火花加工方法对于材料的去除是靠放电时的电热作用实现的，材料的可加工性主要取决于材料的导电性及其热学性能，而几乎与材料的力学性能无关。这样就突破了传统加工对刀具的限制，可以实现软刀具加工硬的工件。更重要的是，由于加工中工具电极和工件不直接接触，没有机械加工宏观的切削力，因此更适于加工低刚度工件和细微工件，而且可以得到相当高的精密性和性。 电火花加工的突出局限性是：主要用于加工金属导电材料，而且一般加工速度比较慢。但总的来说，电火花这种需要加工力小，有相对加工精度保证的加工方法，将会在以后的微孔加工中受到更多的重视。