微孔加工的剖分加工有两种方法：一种是微小孔加工后再剖切，另一种是在紧密结合的两块光滑平板上沿结合缝打孔。由于孔径微小，加工后剖切应属薄板切割。此时为取得较高切割精度应使用激光切割。但由于切割光斑直径较大(如薄板厚为5mm、要求切割速度为1.5m/min时，光斑直径为0.2mm[6])，与所加工的微小孔直径接近，切割后所剩余的微小孔内表面太小，难以进行粗糙度测量；同时，为了保护微小孔内壁在剖切时不受飞溅物的影响，通常在剖切前向微小孔内先注入蜡等物质以保护孔内壁，但此时保护物对微小孔内壁粗糙度测量结果的影响无法评估，因此采用这种剖切加工工艺时需非常慎重，以避免测量的困难。

微孔加工的辅助工艺有什么？

在工件的正面施加一个正向压力（例如吹气法），或是在工件的反面装一个低压仓，可有助于打孔过程中清除掉汽化材料并增加液相的排出。在脉冲结束以后，减弱熔化物不受控制地重新分布而造成对孔的尺寸及形状的影响，既改善了被加工孔的表面质量（如可使在孔的内壁上会由熔化金属产生的一层“再铸层”的厚度有效地的减少），并且可以防止金属蒸气凝聚在透镜上。

技术是20世纪80年代末出现的一种***制造技术[2]。采用快速原型技术可以对产品设计进行快速评价和修改，以及时响应市场需求，提高企业的竞争能力。熔融沉积造型作为一种快速原型制造工艺，是指采用热熔喷头将处于半流动状态的材料按CAD分层数据控制的路径逐层挤出，堆积、凝固后形成整个原型或零件[3]。常见的用于FDm的喷头口型直径约为0.2mm，属微小孔范围。目前如此微小的孔可以使用电火花、高速钻削以及激光等方法加工。激光加工工艺近年来发展较快，现在已经可以用激光在红、蓝宝石上加工直径为0.3mm、深径比为50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦极细的激光束方便地钻出直径为0.1～0.3mm的微小孔[5]。考虑到微小孔激光加工工艺的的优点及其应用日益增加的趋势，本文着重研究采用激光加工的微小孔内表面粗糙度的测量。