微孔加工。但是，电火花加工的速度极低，加工的成本比较高，用于加工小孔的电极铜工的电子束功率密度高，可加工高硬度、高强度、高韧性、高脆性、高熔点的金属材料和非金属材料，加工使用的功率密度大约为109W/cm2，能量可集聚成φ1μm以下的光斑，故可加工数微米的孔，孔的加工效率很高，这主要取决于被加工件的移动速度。能实现通过磁场或电场对电子束的强度、位置进行直接控制，便于实行自动化加工，主要用于园孔加工，也可用于加工异形孔、锥孔、窄缝等。该种工艺方法属于非接触加工，因此工件本身不受机械力作用，不产生宏观应力和变形。在真空状态下进行，特别适合于加工易氧化的材料或纯度要求高的单晶体、半导体等材料。

微孔加工的应用范围有哪些？

微孔加工是传统加工行业里很难的技术，其介于传统加工和细微孔加工之间，蚀刻微孔加工所针对的材料是金属材料，以不锈钢304材料和铜以及铜合金材料为主，不锈钢微孔加工主要要注意以下参数问题：蚀刻工艺解决微孔加工问题时，必不可少的环节需要受到材料厚度的限制。一般情况下，需要加工的孔径是使用的材料厚度的1.5倍之间，如厚度大于开孔孔径的时候，就不适用蚀刻工艺来加工微孔了。因为，此时由于化学蚀刻的药剂的扩张性无法满足蚀刻量。

为此，它至少含有激光聚焦装置和观察瞄准装置两个部分。投影系统用来显示工件背面情况。工作台则由人工控制或采用数控装置控制，在三坐标方向移动，方便又准确地调整工件位置。工作台上加工区的台面一般用玻璃制成，因为不透光的金属台面会给检测带来不便，而且台面会在工件被打穿后遭受***。工作台上方的聚焦物镜下设有吸、吹气装置，以保持工作表面和聚焦物镜的清洁。

技术是20世纪80年代末出现的一种***制造技术[2]。采用快速原型技术可以对产品设计进行快速评价和修改，以及时响应市场需求，提高企业的竞争能力。熔融沉积造型作为一种快速原型制造工艺，是指采用热熔喷头将处于半流动状态的材料按CAD分层数据控制的路径逐层挤出，堆积、凝固后形成整个原型或零件[3]。常见的用于FDm的喷头口型直径约为0.2mm，属微小孔范围。目前如此微小的孔可以使用电火花、高速钻削以及激光等方法加工。激光加工工艺近年来发展较快，现在已经可以用激光在红、蓝宝石上加工直径为0.3mm、深径比为50：1的微小孔[4]；也可以利用聚焦极细的激光束方便地钻出直径为0.1～0.3mm的微小孔[5]。考虑到微小孔激光加工工艺的的优点及其应用日益增加的趋势，本文着重研究采用激光加工的微小孔内表面粗糙度的测量。