塘厦***显影工厂优选商家 利成感光
作者:利成感光2020/8/25 8:13:40
***及显影设备还包括主体***机10、基板输送机构50及传送装置40。主体***机10用于先对基板S的主体进行***。传送装置40用于将来自该主体***机10的基板S传送至基板输送机构50,传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板S输送至显影装置30,基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻,因此,本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘***装置20,即可去除绝大部分的残留光阻。


基板S沿图中X轴方向移动,由CXD影像处理器22撷取视野内影像,CCD影像处理器22根据该影像计算偏移量,即,基板S边缘Rl与CCD影像处理器22的边缘R2之间的偏移量Λ y,并将该偏移量的信息提供给驱动装置23,驱动装置23根据接收到的偏移量的信息提供相应的输出量,带动与驱动装置23的输出端连接的边缘***机21沿Y轴方向移动,与基板S边缘Rl对齐,从而进行准确的边缘曝边。


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