选择一款你喜欢和常用的胶卷,在晴天阴影处拍灰卡(晴天的太阳下反光太强烈,有时光线变化太快,所以选择阴影处比较稳妥;没有灰卡的朋友可以用中性的物体来替代,如纸板箱和牛皮纸大信封等);
拍摄灰卡的时候,让灰卡的画面充满整个取景器,对焦到无限远,同时防止自己的影子落在灰卡上;
***数为测光值减4档,既区域系统中所说的Ⅰ区;

1.预喷淋:为了提高后面显影液在硅片表面的附着性能,先在硅片表面喷上一点去离子水。
2.显影喷淋:在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,显影喷嘴分为以下几种:E2喷嘴,LD喷嘴,GP喷嘴,MGP喷嘴等。
3.显影液表面停留:为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。
4.显影液去除并且清洗:达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。图1.13是一个典型的去离子水冲洗工艺。
5. 甩干:为了将表面的去离子水甩干,将硅片转到高转速
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