
1.预喷淋:为了提高后面显影液在硅片表面的附着性能,先在硅片表面喷上一点去离子水。
2.显影喷淋:在硅片表面涂覆显影液。为了将显影液均匀地涂覆到硅片表面上,显影喷嘴分为以下几种:E2喷嘴,LD喷嘴,GP喷嘴,MGP喷嘴等。
3.显影液表面停留:为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。
4.显影液去除并且清洗:达到显影时间后,使用DIW立即冲洗晶圆表面。去离子水不仅可以使显影过程终止,而且会把显影后缺陷颗粒冲洗掉。在冲洗过程中,晶圆旋转产生的离心力也对去除表面颗粒有很大的帮助。图1.13是一个典型的去离子水冲洗工艺。
5. 甩干:为了将表面的去离子水甩干,将硅片转到高转速

不锈钢蚀刻工艺在如今工业上的应用已经非常广泛,随着科技和科研的不断进步,人们的日常生活水平和审美观念的不断提高,包括电子工业、金属标牌的制作、金属模具装饰纹的制作、金属装饰品的制作、精密五金配件的制作等等。越来越多的产品运用到不锈钢蚀刻工艺来制作。
随着各种工业的蓬勃发展,塑料制品的应用越来越广泛,种类也越来越多。在生产塑料的模具上制作装饰纹,塑料制品表面便可获得相应的花纹图案,增加制品的花色品种并具有观赏性。例如汽车仪表盘、摩托车后包箱表面做成装饰纹,不但美观别致,还可以使塑料表面消光。仿皮纹制造的人造革皮带、皮箱和皮鞋几乎可达到以假乱真的程度和fang真效果,使其身价倍增。
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