由于选用物***相堆积工艺可大幅度进步刀具的切削性能，人们在竞相开发、高可靠性设备的一同，也对其运用范畴的扩展，尤其是在高速钢、硬质合金和陶瓷类刀具中的运用进行了愈加深化的研究。

化学气相堆积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体，凭仗气相作用或基体表面上的化学反应，在基体上制出金属或化合物薄膜的方法，首要包含常压化学气相堆积、低压化学气相堆积和兼有CVD和PVD两者特点的等离子化学气相堆积等。

1、成膜温度低。钢铁行业中的热镀锌镀膜温度一般是400℃～500℃，化学镀膜温度更高1000℃以上。这样高的温度很容易引起被镀件的变形、变质，而真空镀膜的温度低，可以降到常温，避免了常规镀膜工艺的弊端。

2、蒸发源选择自由度大。可选择的镀膜材料多而不受材料熔点限制，除了热镀锌中常见的锌、铝、锡外，几乎可以蒸镀所有的金属材料，还可镀种类众多的金属氮化膜，金属氧化膜和金属炭化物及各种复合膜。这为发展新型带钢材料提供了很大的自由度。

因为这些容器优先吸附碳氢化合物。真空镀膜加工对于 高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。

真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工 作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区，除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。