使用前各电源开关及操作按钮应处于断开位置,接通水源,气源,电源。
1)打开真空控制电源开关。
2)开维持泵对扩散泵抽低真空,并测量前级真空度。
3)待前级压力达到5.0*10pa后,开扩散泵加热。
4)开充气阀,对镀膜室充气,打开镀膜室门,装好清洗干净的工件,关好炉门。
5)待扩散泵正常工作一小时后,开机械泵开预抽阀,对真空室手抽真空至1.0*103pa,然后开罗茨泵。
全电介质反射膜是建立在多光束干涉基础上的。与增透膜相反,在光学表面上镀一层折射率高于基体材料的镀膜,就可以增加光学表面的反射率。简单的多层反射膜是由高、低折射率的二种材料交替蒸镀而成的,每层膜的光学厚度为某一波长的四分之一。在这种条件下,参加叠加的各界面上的反射光矢量,振动方向相同。合成振幅随着薄膜层数的增加而增加。
原则上说,全电介质反射膜的反射率可以无限接近于1,但是薄膜的散射、吸收损耗限制了薄膜反射率的提高。迄今为止,激光反射膜的反射率虽然已超过99.9%,但有一些工作还要求它的反射率继续提高。应用于强激光系统的反射膜,则更强调它的抗激光强度,围绕提高这类薄膜的抗激光强度所开展的工作,使这类薄膜的研究更加深入。
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