光学镀膜由薄的分层介质构成的,经过界面传播光束的一类光学介质材料。光学薄膜的使用始于20世纪30年代。现代,光学薄膜已广泛用于光学和光电子技术领域,制造各种光学仪器。
吸收介质:能够是法向均匀的,也能够是法向不均匀的,实际使用的薄膜要比抱负薄膜复杂得多,这是因为,制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,其表面和界面是粗糙的,从而导致光束的漫散射,膜层之间的相互渗透形成扩散界面,因为膜层的成长、结构、应力等原因,形成了薄膜的各向异性,膜层具有复杂的时刻效应。
链条隧道式传递机构的缺陷是,1、真空室之间的连接阀门需要较大尺寸,这样,不同真空室之间的气氛容易互串,进而降低镀膜质量、成品率等;2、需要较高的设计精度、加工水平,由于是柔性结构,容易出现匹配不准确,导致传送出现故障。真空镀膜机往复步进齿条推杆式传送机其传递过程为,固定在镀膜室顶上或底盘上(与公转盘同一侧)、并可以往复运动的齿轮G、齿条H-推杆机构,顺序实现自转工件杆Am从真空室M的公转盘Jm向真空室N的公转盘Jn的传递。齿轮、齿条所用的动力是通过轴密封在真空室外的电机来实现。为使自转工件杆脱离公转盘进入下一个公转盘,在公转盘与自转轴之间采用开放式连接,同时在固定于镀膜室内并维持自转的内齿轮盘相应位置开口,实现自转工件杆从镀膜室M传送到下一个镀膜室N。
由于铝、银、铜等材料在空气中很容易氧化而降低性能,所以必须用电介质膜加以保护。常用的保护膜材料有一氧化硅、氟化镁、二氧化硅、三氧化二铝等。金属反射膜的优点是制备工艺简单,工作的波长范围宽;缺点是光损耗大,反射率不可能很高。为了使金属反射膜的反射率进一步提高,可以在膜的外侧加镀几层一定厚度的电介质层,组成金属电介质反射膜。需要指出的是,金属电介质反射膜增加了某一波长(或者某一波区)的反射率,却***了金属膜中性反射的特点。