真空镀膜加工的办法许多:
(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气到达约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。
(2)化学气相堆积:经过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,取得堆积薄膜的进程。
(3)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,兼有两者的工艺特点。
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光学镀膜工艺
光学镀膜所涉及的制造工艺是劳动和资本密集型的,光学镀膜厂,并且十分耗时。影响镀膜成本的因素包括被镀膜的光学件的数量,光学镀膜价格,类型,尺寸,光学镀膜,需要镀多少层膜以及光学件上需要镀膜的表面数量。镀膜采用的沉积工艺对镀膜成本以及镀膜性能方面的影响也十分巨大。此外,在这之前还需要做大量的准备工作,以确保每个镀膜光学件的质量都能达到z高水平。
在镀膜之前,清洁和准备光学件是非常重要的。光学元件必须具有适合镀膜粘附的清洁表面。一旦镀上膜,基片上未预先除去的污渍就很难被去除了。
真空镀膜和光学镀膜原理的区别
1、真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。
2、光的干涉在薄膜光学中广泛应用。光学薄膜技术的普遍方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀薄膜,一般用来控制基板对入射光束的反射率和透过率,以满足不同的需要。为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜。
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