真空泵油极低的蒸气压：由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。真空泵油作为介质抽除气体达到真空的设备。这种加装油雾分离器的油封旋片式真空泵具有排出气体清洁、不污染工作环境，适合厂房、室内使用等明显特别。爱德华真空泵油在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。

闪点也是真空泵油较显要质量指数的一。它不仅是从安全性能方面考虑。而是闪点高往往轻质组分油含量较少。因此当油温上升时，轻沸点油分子不易挥发，能有效地保持极限压力。

真空泵油极限分压：用水l银压缩式真空计（麦氏计）测得泵极限空气分压力，双级旋片泵分压力应为≤6×105kpa。极限全压力及极限分压力差值条件不大于一个数量级。二者的间差值越大，真空泵油中含有挥发成分就越多，油品性质就越差。