真空的获得方法

人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。目前在真空技术中，采用各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。真空泵油乳化危害：真空泵油乳化不仅影响泵油运用寿命也使极限压力变坏，是常见真空泵故障之一。显然，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是十分困难的。

在真空获得技术中，目前用以获得真空的技术方法有两种，一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出；另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多，分类方法各异，但是，***常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。这一点，我们将在下一节中介绍。相应的，真空度每提高一点，对材料、工艺技术水平的要求都会高出很多，所以成本也大幅增加。

7）真空泵的***l大工作压强

真空泵的***l大工作压强单位是Pa，它是指对应***l大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。

8）压缩比

压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。

9）何氏系数

泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

10）抽速系数

泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

11）返流率

泵的返流率单位是g/cm2.s。它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。

12）水蒸气允许量

水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。

13）***l大允许水蒸气入口压强

***l大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的***l高入口压强。

3.1.3.2 真空泵的使用范围

由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。

真空泵的选型原则：

1、选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。例如，工艺过程中产生的是水蒸气，选用的真空泵必须能抽水蒸气。

2、选用主泵的极限真空度，必须高于被抽容器要求的真空度，至少要高一个数量级，并且能在要求的工作真空度范围内正常工作。

3、选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的***l大放气量。如果在主泵前有冷阱或档板，则加阱或挡板之后的有效抽速应大于工艺过程中***l大放气量。如果工艺过程中会出现突然大量放气，主泵的有效抽速还要适当加大，通常加大到***l大放气量的2~3倍。