真空泵的发展介绍

真空泵作为真空系统领域常用的一种增压泵，在各工业领域都有广泛的运用，其是有鼓风机演变而来，因此在结构和原理上都保持着与鼓风机类似的结构和原理，比如鼓风机在吸入口为正常大气压的情况下，将气体加压成0. 1^- 2 kg/cm出口压强，作为冶炼工业等的鼓风使用，真空泵的名称也有这个因为这个关系沿用至今。据威特真空泵不完全统计，目前国产干真空泵的应用还不足1%，由于国内半导体工业用的干真空泵全部从国外进口，价格十分昂贵。

早在二十世纪中叶，随着真空技术的发展，特别是在真空冶炼***合金领域需求不断扩大，其实际冶炼工艺中，需要解决I -y 10~ 2Torr真空值得工艺需求，因此急需具有大抽速的新型真空设备，在当时适宜低真空工作的油封机械真空泵和适宜高真空工作的油勺‘散泵，都不能很好地担负这一任务，因为因为油封机械真空泵在1 -10 '2Torr时，抽速严重下降，工作效率很低，如勉强使之承担大抽速，需要多台并联工作，必然造成很大浪费。在可靠性方面，真空泵上附设自动调压旁通阀，用于控制出入日间的压差，发展了液力联轴器驱动。至于高真空适用的油扩散泵，在这样的入口压强下尚不能工作。

常用真空泵的代号

国产真空泵是由基本型号和辅助型两部分组成，两者中间为一横线。国产真空泵的表达型式为123—456。格中数字123表示基本型号，456表示辅助型号。另外，要正确选用清洗剂，禁止使用碱性清洗剂，防止零部件腐蚀生锈，尤其是那些精密零部件。国产真空泵的型号通常以表3-2中的汉语拼音字母来表示。若在拼音字母前冠以“2”字，则表示真空泵在结构上为双级泵。