4）低温泵

利用低温表面捕集气体的真空泵

3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围

3.1.3.1 真空泵的性能参数

1）真空泵的极限压强

泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，旋片真空泵，趋向稳定的***l低压强。

2）真空泵的抽气速率

泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，单旋片真空泵，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指***置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

3）真空泵的抽气量

真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气体流量。

4）真空泵的起动压强

真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。

5）泵的前级压强

真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。

6）真空泵的***/l大前级压强

真空泵口***/l大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。

液环真空泵的汽蚀现象　

液环真空泵在工作时，在一定温度下，当低压处的液体压力低于在该温度下的汽化压力（即饱和蒸汽压），液体开始汽化而产生气泡，并随液体进入高压区时，水环式真空泵，气泡***，周围液体迅速填充原气泡空穴，惠州真空泵，产生水力冲击。这种气泡的产生、发展和***现象就称为汽蚀。

在液环真空泵的工作过程中，吸入区域的绝l对压力与被抽系统的绝l对压力是一致的。也就是说，被抽系统的真空度越高，吸入区域的真空度也越高。

气体捕集泵

这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。

1）吸附泵

它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。

2）吸气剂泵

它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。

3）吸气剂离子泵

它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式。

⑴蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。

⑵溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

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