各大领域的生产商总在寻找提升利润空间的途径——目的是在不影响质量和安全的前提下改善流程效率。本文向您介绍原本用于半导体行业的干式真空泵技术，因其操作中的清洁而开始向工业和实验室真空流程转移。

干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。首先，它增强了泵的可靠性。干式真空泵不像油密封泵那样受到水蒸气或者尘粒的影响，因此它们更耐用，所需的维护工作更少。减少用油量还意味着减少了认真处理油而花费的成本。使用干式真空泵还使可能的污染减到小程度，这种污染既可能出现在油里——影响了泵的性能，也可能出现在某些极端的情况。

缺乏维护可能会导致过度的能量消耗，高工作温度，湿度控制不足和过度污染。 请记住，旋片真空泵，所有的工业空压机设备应保持在按照制造商的建议。 根据不同的环境条件下，它可能是审慎的进行维修***往往被告知压缩机制造商。对于漏气的检查，我们要有针对性的处理，要是轴封处漏气，我们应带检查密封皮碗的装配是否得当，是否老化***，密封皮碗的装置第1圈的接口要与第二圈的接口错开，保证两个接口在不同的位置。各法兰连接处螺钉松动也会导致漏气，此次漏气多半都是因为法兰面加工不平整所致。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵。综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。罗茨泵的工作原理 罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，XD真空泵，可将罗茨泵串联使用。

多级爪式干式真空泵是上世纪末快速发展成熟的新型(变容积)真空泵，由于其如下突出优点:泵腔内无油、对被抽容器没有油污染、并能直排大气、单泵就能达到3 Pa等，在电子行业得到了非常广泛的应用，真空泵，替代了油封机械泵以及滑阀真空泵。由于其性能***而越来越广泛的应用于航天、核工业、化工、制药、环保等行业，并呈逐年上升的趋势。其主要的结构型式有螺旋型和反爪式，其结构各有优势，单旋片真空泵，相比较而言反爪式比螺旋型优势更明显。但由于其结构限制，泵的抽速目前基本上只做到小于600 M 3小，不能够满足化工和制药等大抽速的需要

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