真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，旋片真空泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，佛山真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

　在泵的结构方面，为了能在停泵时防止返油，有的设有能自动切断油路的止回阀，有的设有进气通道截止阀，有的为了能在泵开气镇运转突然停电时自动切断气路来保持泵口处于真空旋片真空泵状态而设有油泵和控制结构。在附件方面，有消雾器、气味过滤器、阻挡碎玻璃等杂物用的人口过滤器、灰尘过滤器、蒸汽凝结阱、化学阱，有控制泵温以提高水蒸气抽除率和保护泵的温控水量调节阀。

在大多使用者的印象中，真空泵需要前级真空泵进行预抽，单旋片真空泵，进过多年的发展，直排大气的真空泵也随之诞生。其利用附加的水封或油封装置，使之不用前级真空泵，通过水封或油封即可向大气排气，以单机作为粗真空、大抽速真空泵使用，代替传统的水环真空泵、旋片真空泵等，业技术中，取得了提***率、节约能源的良好效果，并在工正逐步扩大其应用范围。

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