选择真空泵所要考虑的事项

1、 真空泵的极限压力应该满足工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

2、 每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、 真空泵在其压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气量。

4、 选择真空机组：

（1） 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求

普旭真空泵***注意事项

我们购买的真空泵，特别是进口真空泵的日常***及真空泵维修中有些细节一定要特别留意，特别是价格较昂贵的爱德华真空泵，阿尔卡特真空泵，德国莱宝真空泵，普旭真空泵等，

因为做好真空泵的***可以节省一大笔真空泵维修成本。

1.如果长期不使用，应经常转动联轴器，以防生锈；

2.每天工作2--4小时的真空泵，j每隔15天停机一次，以水冲洗泵内各种脏物；

3.定期检查(至少每月一次)真空泵外部零件的完好情块的弹性等；

4.真空泵运行一年后，普旭真空泵RA0250D，应将泵全部拆开检查，普旭真空泵，***检查叶轮、侧盖、气体分配器是否有损伤痕迹，各种配合间隙(特别是叶轮与侧盖间的轴向间隙

5.真空泵储存时，吸入口和排出口应用盖板盖住；

6.每运转2000h(小时)，更换一次轴承体内的黄油，每年至少清洗轴承一次，并将润滑油全部更换，注人黄油量充塞空间的2／3即可，不宜过多；

7.如果是水环真空泵，在装配前，与水接触的非加工表面应涂防锈漆，与水接触的加工表面应涂防锈油脂；

叶轮内孔和气体分配器外圆间的径向间隙)是否正常，轴承磨损情况等，普旭真空泵RA0202D，如有不正常之处，应及时修复或更换。

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普旭真空泵适用的工艺类型

干泵（包括螺杆泵、涡旋泵、和爪形泵）。适用于无油清洁的真空工艺过程，例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺使用，这几种泵都能直排大气。

吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求清洁无油的真空系统中使用。

钛泵（包括溅射离子泵、升华泵）。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理和表面化学、热核物理、等离子体物理和超导技术等工作中使用。

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