爱德华真空泵维修经过长期工作后经常会出现的问题就是漏油，关于这个问题怎么维修呢？我们要先了解出现故障的原因：1.真空系统或进气管路读书或***

2.真空泵油被污染或变质

3.排气过滤器堵塞

4.进气过滤器或进气滤网堵塞

5.吸气阀被污物卡死

6.进气或排气管道过长或管径太小

7.油管泄漏或损坏

8.密封圈或轴封泄漏

9.排气阀损坏或卡死

10.叶片卡死或损坏

11.转子和泵体的间隙不对

12.真空泵内部零件损坏爱德华E2M80真空泵

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用六、真空计爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设***的微处理器控制。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。79dB(A)82dB(A)80dB(A)进气口连接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100出口连接NW40NW40ISO63ISO63ISO63重量145kg230kg750kg820kg950kg变速箱油容量0。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设定点和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设定点上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。无论您需要什么样的支持，我们都能帮助您让设备在您的应用中发挥佳性能。