特长

● 可测量范围广：从大气压至5×10-2Pa

● 0~10V的线性压力输出，可直接接PLC使用

● 带有LED故障提示

● 传感器更换简便，可由客户自行更换

● SW1-N1型带有2点开关信号输出

● SW1-N2型带有RS-232C/RS-485通信接口

用途

◆ 可用于半导体、电子元件为首的各种制造装置的低真空领域的过程管理

◆ 可用于真空炉为首的各种产业机器的低真空领域的过程管理，可用于光伏、制冷、照明等行业

油旋片真空泵系列:VS-1501;VS-2401;VD-301;VD-401;GLD-136;GLD-201;PVD-180;PVD-360;VSN1501;VSN2401;VDN301;VDN401;GLD-N136;GLD-N201;GLD-N051;GLD-N280;PVD-N180;PVD-N360;

多种真空泵油系列：R-4;R-7;R-80;TM系列油雾过滤器：TM-151;TM-201;TM-401;TM-3;TM-4;

ULVAC真空泵系列：低温泵；分子泵；【ULVAC爱发科VSN2401油旋片式真空泵】基本说明：爱发科VS系列油旋片式真空泵系列能对应全压强领域的连续运转采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式和缸体的水冷方式。扩散泵；UTM-50;UTM-150;UTM-300;UTM-500;UTM-1500;UTM-M;UTM-FW/FH Series;F-250;U-250;PBL-02;PBL-04;PBL-06;PBL-10;PBL-14;PBL-20;ULK-04A;ULK-06A;ULK-10A;ULK-14A;PFL-22;PFL-22(TM);PFL-36;PFL-52;PGT-3F;PGT-6F;P***-10B;CEYO-U6H;CRYO-U8H;CRYO-U8H-U;CRYO-U8HSP;CRYO-U10PU;CRYO-U12H;CRYO-U12HSP;CRYO-U16;CRYO-U16P;CRYO-U20P;CRYO-U22H;CRYO-U30H;CRYO-TORR series:CRYO-TORR8;CRYO-TORR10;CRYO-U8HL;CRYO-12HL; 以及一系列真空设备检测仪器等等

每隔3-6个月的***内容 :

1. 真空泵油 建议使用真空泵专用油。

2. 新泵浦初次使用500小时后更换泵油，以后每1000-1500工作小时更换一次。

3. 换油时先将油箱内的油放完，注入少量新油，开机半分钟后再将油放完，z后注入新泵油到规定油

位。旋片：使用周期1-2年左右（10小时/天）。

轴承：约1-2年更换（10小时/天）通常在大修***时更换。

排气过滤器：更换周期3-6个月（10小时/天），或当排气口有喷油、冒烟的现象时更换。

进气过滤器：每周清洁一次，3个月更换。

其它：注意清洁泵体，风叶及风扇罩，确保泵浦通风散热。