沦分子泵是一套超高速、超真空的装置，它的旋转速度高达90000RPM（1500转／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十亿分之二个大气压），并且它设计紧凑，体积小，重量轻。主要有两个系列：STP和EXT，主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的，而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。爱德华真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

五、罗兹泵

EDWA***在***早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。在低真空中有很好的抽气率，常串油式或干式泵使用

六、真空计

爱德华真空计测量范围从2000-10-11mbar，内设***的微处理器控制；

真空泵是一种较为精密的机械设备，用户在使用过程中，真空泵抽真空难免出现抽气量不足或者真空度不高的现象，引起这些现象的原因是很多的。

真空泵真空度降低该怎么办？

真空泵真空度降低的故障原因：管道密封不严，有漏气的地方;密封填料磨损;叶轮与端盖的间隙过大;水环温度过高(一般不应超过40℃)。

真空泵真空度降低的排除方法：拧紧法兰螺钉或更换衬套;更换填料;调整间隙(一般应为0.15～0.2mm);增加水量并降低进水温度。