爱发科真空技术有限公司自二零零三年在中国区成立并于二零零五年开始营业以来，始终秉承扎根本土、服务当地的理念，将日本***的技术研发优势与中国制造的本土优势充分结合，致力于为客户提供高性价比的设备和服务。ULVAC机工株式会社作为专门制造销售小型真空泵及小型真空仪器、装置的厂家，产品应用于各行业的高、中、低真空领域。公司经过八年的发展，已在中国半导体和电子器件设备制造行业牢牢占据一席之地，得到了业内用户的广泛认可和爱戴，在此深表感谢！

随着世界经济中心由美国向中国转移，中国的半导体、LED、FPD、太阳电池等行业也在这样的大背景下得到持续迅猛的发展。为方便日常***维修工作，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向，为延长油的补充期，一次性加油量8。爱发科集团始终重视中国市场，也坚信爱发科集团要取得发展，离不开在中国的各项业务。因此，集团公司对于中国工厂的发展所提供的支持是不遗余力的。随着集团公司对中国公司的***不断追加、工厂面积的持续扩展、人才的陆续引进、市场规模的逐渐提升，苏州工厂正朝着真空设备制造领域的目标不断迈进。

日本爱发科真空泵

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。3、真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

不同的主真空泵，其前级泵配置各异，分述如下。

(1)蒸汽流泵前级配置

类泵包括油扩散泵、油扩散喷射泵以及增扩泵等。在主泵允许的z大排气口压力下，前级泵需将主泵产生的z大气体量及时抽走，即前级泵的有效抽速必须满足：

Sqgt; pg .S/ pn或Qmax /pn

式中,Sq——前级泵的有效抽速，L/s，和选择高真空泵一样，先由Sq来确定前级泵的抽速，然后再根据该抽速选定泵型;

pn ——主泵前级的临界前级压力，Pa;

Qmax ——所能排出的z大气体量，Pa .L/s;

pg ——主泵允许的z高工作压力，Pa;

S——主泵工作在pg时的有效抽速，L/s。

在选择前级泵时，应该注意机械泵的抽速是在大气压力下测得的，但正常使用的泵都是在低于大气压的条件下运转，使泵的抽速下降了，因而我们必须根据抽速曲线来选择泵。若没有抽速曲线，可参考经验公式

Sp =(1.5～3) S’p

式中，Sp——实际选用的前级泵的抽速;

S’p——计算要求的前级泵抽速。