进口爱德华真空泵油过滤器A22304032

原装进口爱德华真空泵配件，Edward真空泵过滤器， Edward爱德华真空泵旋片，进口爱德华真空

泵专用油，爱德华真空泵密封件/维修包等……，型号齐全，价格实惠。

爱德华过滤器主要作用：真空泵油过滤器是很多进口真空泵品牌配置的一种油过滤装置，主要过滤颗

粒杂质粉尘，保持真空泵油质量，提高真空泵使用寿命。

Edward爱德华半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池制造集成解决方案提供商，是工业、制

药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业以及广泛的研发应用的真空技术。 这些泵结

构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需

求。

主要从事真空行业，销售真空泵过滤器，真空泵叶片/滑片/石墨碳片，维修包/密封套

件，真空泵维修耗材。选择比其尔的优势；拥有10年以上各类进口真空泵技术***，真空泵系统订

制，真空泵维修/***；如德国BUSCH普旭、德国Becker贝克、德国Rietschle伟力/里其乐、德国天

津Leybold莱宝、法国ALCATEL阿尔卡特、英国Edward爱德华、日本ULVAC爱发科，日本Orion好

利旺等品牌；

半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。我们的STP系列TMP采用完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长维修间隔。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。必须为PFPE准备的泵E2M40FX、E2M80FX和E2M175FX单独采购Fomblin?。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。我们对我们的燃料燃烧废气管理设备倍感骄傲，因为它们能够有效地将副产品强制重组为安全的化合物。

化学气相沉淀化学气相沉淀 (CVD) 系统具有 多种配置用于沉积多种类型的薄膜。制程 还以不同的压力和流量状态运行，其中的许多状态 都使用含氟的干燥清洁制程。所有这些可变因素意味着您 需要咨询我们的应用工程师之一来选择适当的泵 和气体减排系统以便大程度地延长我们产品的维修间隔并 延长您制程的正常运行时间。无论您需要什么样的支持，我们都能帮助您让设备在您的应用中发挥佳性能。

干泵选择

CVD 制程通常需要通过选择适当的 干泵产品来克服四个特定挑战。这些挑战是：

粉末

许多制程会产生 大量粉末副产品。需要将真空泵设计成 能够处理这些粉末而不被卡住。在某些情况下，粉末实际上可能 很粘或需要高温运行才能确保粉末中夹带的其他 副产品不在泵内部冷凝并卡住泵机构。 对于几乎所有产生粉末的制程，您将不得不使用 采用高扭矩电机的泵，以确保泵在应力下保持 旋转。Edward爱德华EH1200罗茨泵维修***漏气，有点卡死EH1200是德国Edward爱德华EH系列罗茨泵，这款泵是比较大的，罗茨泵不能单独使用，一般是可以搭配螺杆泵或者旋片泵使用。

冷凝

半导体 制程的某些副产品含有气体，当气体分压 增加或与冷表面接触时，这些气体会从气 相变为固相。在泵送这些副产品时， 您将需要非常热的泵，是从入口到出口 具有尽可能一致的温度分布的泵。

腐蚀

有些制程 需要泵送卤化物。尤其是需要含氟的清洁制程来 保持舱室的清洁性，但被激的氟自由基 可能会侵蚀泵的内表面。如果制程主要使用 可能对泵造成腐蚀的***，您需要确保可以 将泵温度设置为一个较低值以降低腐蚀风险。我们的泵设计 具有可选的温度设定点和高旋转 速度以降低腐蚀风险并降低泵中不可避免 发生的总体材料损失速率。对于某些 CVD 制程，需要在温度设定点上 达到平衡，以确保避免任何冷凝问题， 同时不使腐蚀速度过高。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，Q。