爱德华真空泵报价电池行业真空系统 明胜机电
作者:明胜机电2020/7/27 12:09:11








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3:在未涉及到真空设备组装、加工核心技术的前提下,其它日常***及维修,我司免费提供技术支持。

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半导体加工我们继续革新技术解决方案,这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平,同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本,努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM,以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统,因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统,用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷(即晶圆的图案形成)是半导体 制程中的一个关键步骤。动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是***技术设备的制造商所需要的。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境,但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值, 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷,因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能,真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要,它有助于延长维修间隔。主要有两个系列:STP和EXT,主要区别是EXT系列的回转轴承是陶瓷的,而STP系列的回转轴承是用磁性材料制成的。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统,可为您进行的大型***提供 可靠性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承,可靠性极高,使用寿命和无故障工作时间也更长5。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积,不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。


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