应用范围

根据设计，SOGEVAC泵可用来抽空稳定气体，其工作范围为从大气压到泵极限真空之间的粗真空范围。

警告

SOGEVAC泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性的、或气体。

若存在有侵蚀性的，的，腐蚀的或气体，请与LEYBOLD公司联系。

根据设计，这些泵不能在或环境下工作。 若有问题，请与LEYBOLD公司联系。

当心

泵不适合抽空液体或含有灰尘的介质。必须引入相应防护措施。

如有问题，请与LEYBOLD公司联系。

在抽空氧含量高于大气（gt;20%）的气体或其它高活性气体之前，泵必须改型，除油，然后必须使用特殊油（例如PFPE）。

采取相应安全措施。

请与LEYBOLD联系以获取有关重要的安全说明书。

1.2 标准规格

处于备用状态的泵，电机随泵一起提供。随泵一起提供的还有GS77或等同的油已注入泵内。

连接口由塑料保护盖封住。在启动泵之前要去除这些塑料保护盖。

BOXER 系列（130 至 460 对/8 小时）Bühler Leybold Optics BOXER 系列是用于眼镜镜片镀膜的通用性高、生产力高且实用的中到大型平台。BOXER 系列以 700 mm 和 900 mm 不同腔室尺寸和可通过若干级进行扩展的能力为基础，是满足个别生产（无论是 Rx 生产还是存货生产）需求的理想选择。BOXER 系列镀膜机进行的加工包括从经典的宽带减反膜到吸光层（防晒）。BOXER 系列还适用于洁净室用途。优化的设置提供出色的性能BOXER 系列采用位于镀膜腔中心的高功率电子枪，确保了基底上的镀膜材料的均匀沉积。紧凑式平台设计仅需少的占地空间且包括强大的真空泵、大效率迈斯纳冷阱和单或双石英晶体监视器以大程度提。不同的系统型号可提供灵活的应用BOXER 真空镀膜机提供四种不同的版本以满足客户的特定需要。但如果使用单位有维修力量并想降低费用，可以自行做一些***工作。如果对系统的需求随着时间变化，其硬件可轻松进行扩展，从而提高生产力。BOXER 900 采用更大体积的腔室，在产量方面经过优化，且可满足大批量的生产需求。提供无数定制选件，包括适用于无机玻璃应用的双石英晶体监视器、翻转布置以及加热系统。智能设计，易于维护BOXER 镀膜系统的矩形设计可方便腔室屏蔽的快速拆卸以进行清洗，而 BOXER 900 可通过屏蔽的滑动布置实现类似的轻松清洗。专门开发的“一键式修复”系统可方便基底支架的更换，由此有效地缩短基底传送的时间。

在密封状态下工作，即整个系统处于密封状态，一但真空泵工作，系统内的气压逐渐降低，从而达到真空。而真空泵泵腔内的润滑是靠内部真空对外产生吸力，将真空泵油吸到泵腔里面，达到润滑目的。其二，在非密封状态下工作，即整个系统处于漏气状态，真空泵工作，系统内的气压虽然降低，但不足以将真空泵油吸到泵腔里面润滑。因此，采用强制供油润滑前面所说的“油泵”使用过程中，对真空泵而言，以“先开后关”为原则，即在工作时先开真空泵后打开阀门开关，在结束工作前先关闭阀门开关后再关闭真空。当抽空可冷凝气体或蒸汽时，这气镇可防止可冷凝气体在泵内的冷凝（大容许水蒸汽压力见技术参数）。