涡旋真空泵的主要性能表征参数

5.1.1间隙大小

间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和

装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以

由式((2.11)计算得到，即

e二，*R,-2* a * R.-R (5.1)

5.1.2抽气速率

理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一

个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵

为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:

S1,=2仇、 Vol卜(5.2)

其中VII, Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压

缩腔的容积。、

实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄

漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，

Q。为总泄漏，则〔10)

S*PL=Sw*P,司t

则实际抽速为

g

J=J'*一下了

r,

(5.3)

5.1.3极限压力

涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达

到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际

抽速S=O，即可得极限压力〔10)

(5.4)