爱发科真空泵维修镀膜真空系统

作者：明胜机电2020/6/11 2:48:46

特长

● 高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵

● 散热效果好、真空度高

● 油位视窗大，便于确认油污染状况

● 低震动、低噪音等优点

用途

● 冰箱、空调、饮水机自动抽空线

● 照明理化学实验用、分析仪器用

● 激光应用机器真空排气设备、真空干燥器

● 电子显微镜的辅助泵、半导体制造设备

特长

● 高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵

● 散热效果好、真空度高

● 油位视窗大，便于确认油污染状况

● 低震动、低噪音等优点

用途

● 冰箱、空调、饮水机自动抽空线

● 照明理化学实验用、分析仪器用

● 激光应用机器真空排气设备、真空干燥器

● 电子显微镜的辅助泵、半导体制造设备

● 溅射设备、真空镀膜设备

组成

YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵通过安装支架、接管配上控制箱、消音等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。

● 无油、干燥、清洁

● 在低温领域的均热化

● 大抽速，可以缩短排气时间

● 优良的耐腐蚀性

● 低噪音、低震动

◆ 冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、

◆ 单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。

爱发科真空泵

株式会社ULVAC作为追求真空极限（Ultimate in Vacuum)的真空技术先驱，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供***的真空技术产品。这里说明一点：一般情况油环真空泵初次使用100h后更换油，以后每500~2000工作小时更换一次。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的***设备。

ULVAC机工株式会社作为专门制造销售小型真空泵及小型真空仪器、装置的厂家，产品应用于各行业的高、中、低真空领域。特别是真空仪器、装置上配用的小型真空泵，产品品种、品质均处于世界***地位，满足了各小型真空泵的***使用厂家的需求。

爱发科ULVAC主要生产各种油旋片泵、罗茨泵、机组（含规格品）、排气小车。用途●蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等●单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等●真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等●冰箱、家用空调、***空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。计划年产量为20000台，销售收入8000万元，其中50%以上产品返销日本及出口到世界各地。产品广泛应用于空调、冰箱、照明、电子、光学、材料、化工、医药、食品等行业的设备和自动化生产线上，产品应用范围覆盖了从一般工业技术到***技术的商品群。

ULVAC爱发科真空泵

型号: VD系列：301 401 301 401 301 401 301 401 DVD系列：180 360 180 360 180 360 180 360 GLD系列：136 201 136 201 136 201 136 201

VD301技术参数

抽气率30m3/h、极限真空6.7 x10-4mbar、电机功率1.1kw、接口VG40、润滑油R-7

VD401技术参数

抽气率40m3/h、极限真空6.7 x10-4mbar、电机功率1.5kw、接口VG40、润滑油R-7

日本ULVAC爱发科 GLS小型直联型油旋片真空泵

GLS051技术参数

抽气率50L/min、极限真空6.7 x10-4mbar、电机功率0.2kw、接口KF25、润滑油R-4

日本ULVAC爱发科 GLD小型直联型油旋片真空泵

GLD051技术参数

抽气率50L/min、极限真空6.7 x10-4mbar 、电机功率0.2kw 接品KF25、润滑油R-4