特长

● 低振动——3叶片型构造，大幅降低了振动传导较大的低频领域的振动；

● 内置式油雾过滤器——无需安装外置的油雾过滤，结构简单；

● 强排水气能力；

● 优越的***性——大容量敞口式油箱设计，***清洁更方便；

● 机组的搭配——可直接搭载NB2400罗茨泵，连接简单方便；

● 空冷型、水冷型可选。

用途

● 镀膜、溅射、离子镀

● 真空热处理炉、溶解炉

● 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

真空设备制造商“株式会社ULVAC（爱发科）”在中国***兴建的全资公司，于2003年7月在工业园区设立，总***10,350万美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、LED等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备，同时提供设备及周边产品的***服务。TM系列油雾过滤器可以确保一个清洁的环境，保护室内设备免受油雾污染。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，太阳电池等制造行业提供***设备。

公司由日本总部提供雄厚的技术支持，既拥有与日本总部同等的技术资源，又拥有国内设备供应商在价格、交货期、***服务等方面的综合优势，受到广大客户的一致好评和厚爱。

爱发科涡旋真空泵按性能特点和用途分类

(1)低真空泵

泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

(2)中真空泵

极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

(3)高真空泵

限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。

(4)超高真空泵

极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。