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　　检查X轴的振动情况，经观察发现，振动的频率与运动速度有关，运动速度快振动频率较高，运动速度慢则振动频率低，初步认为故障与速度反馈环节有关。分析引起以上故障可能的原因有：测速发电机不良。测速发电机连接不良。直流伺服电动机不良。

　　连接不良引起跟随误差报警的故障维修，故障现象：一台配套FANUC6M系统的数控铣床(二手设备)，开机后移动X轴，CNC显示ALM411、ALM401报警。

　　现场分析，估计报警的原因是由于工作台抬起不到位引起的。进一步检查，确认以上原因；重新调节转台抬起行程，确保抬起到位后，故障排除，机床***正常。

　　检查伺服驱动器电源、速度控制单元辅助电源等公共部分，未发现伺服驱动系统存在不良。考虑到在一般情况下，同时发生X轴、Y轴、Z轴伺服驱动器损坏的可能性较小，因此维修时检查了伺服系统的参数设定。经检查发现，该机床的部分参数存在不同程度上的错误。在故障原因不明的情况下，根据机床原出厂数据，首先对参数进行了***，重新开机后，故障清除，机床***正常工作。

　　故障现象：一台采用FANUC6M系统的进口立式加工中心，在A轴回转时，出现ALM403、ALM441报警。

　　分析与处理过程：FANUC6M系统CRT上显示以上报警的含义及分析过程同前。初步判定故障发生在速度控制单元的公共部分。

　　编码器不良引起的跟随误差报警的故障维修，故障现象：某配套FANUC 3MA系统的数控铣床，在运行过程中系统显示ALM31报警。

　　故障现象：一台配套FANUC3M系统的数控铣床，在快速移动时，X轴与Y轴电动机有异常声，Z轴出现不规则的抖动，并且在主轴起动后，现象更为明显。

　　故障现象：一台配套FANUC 6ME的加工中心，在长期使用后，手动操作Z轴时有振动和异常响声，CRT显示431号报警。

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