高精密直驱平台广泛应用于半导体晶圆检测、微电子组件测试取放、DNA测序、激光加工等领域，***精度要求高，线性位移100mm行程范围内***误差要求≤1μm。人类头发直径约70μm，就是要比人类头发直径的70分之1还要小，如此高***精度的平台测量和校准普通检测设备根本无法做到。

中图仪器SJ6000激光干涉仪为客户直驱平台***精度的测量和验证提供了良好的解决方案，精度达到纳米级，在稳定的实验条件下满足了客户测量和校准的要求，提高了客户产品的质量和检测效率，取得了不错的市场反响。

测量时，根据直驱平台移动模式设定好SJ6000软件采集设置。测量时实时显示测量误差，完成后即时生成测量报告。报告显示设备的***精度在100nm内，反向差值在40nm内。

SJ6000激光干涉仪采用美国进口高稳频氦***激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。