三次元测量机的软件组要包括对测量数据的评估，对于数控测量机来说，还有零件编程的功能。上述两大部分均对测量机的有效应用发挥着重要作用。

在数控测量机中，零件编程软件主要分为以下三种方法：

1）自学编程 自学编程方法目前得到***为广泛的应用，它是直接通过坐标测量机进行操作，计算机数控程序的步骤依赖于手动操作的方法。在程序编制过程中，需要图纸、测量工件、坐标测量机来进行。这种方法的主要缺点在于在进行自学编程过程中，坐标测量机不能进行实际测量。

2）脱机编程 脱机编程在编程过程中，脱离开测量机而直接在计算机或工作站上进行处理。与自学习方法的不同之处在于，实际测量工件和测量机不再需要，一个单独的计算机系统承担了测量机的任务。在自学习和脱机编程过程中，数控测量程序的编制均来源于图纸，脱机编程较自学习编程的优势在于不再浪费测量机宝贵的操作机时。

3）CAD驱动编程 CAD驱动编程同脱机编程有着很大的相同之处。主要区别在于测量程序不再依赖于图纸，而来源于现有的CAD数据。由于通过CAD编程，测量机可利用一些诸如运动路径、测量点、或评估等程序和操作。上述操作可通过在线或一些合适的借口标准如：DMIS(几何量测量借口标准)标准。