退火炉
湘潭华宇电炉制造有限公司是各类工业电炉的***生产厂家,公司湘潭华宇电炉制造有限公司积数十年开发生产工业电炉成套设备的经验,拥有雄厚的技术力量及非标设备的设计、制造能力,产品用户遍布***各地。近几年积累了丰富的不锈钢结构件的加工经验,具有较强的不锈钢结构件的加工能力。
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
真空退火炉节能
炉衬侧墙部分全部采用优质硅酸铝耐火纤维折叠模块(耐火度大于1050℃)锚固而成。该结构型式炉衬是在目前大中型节能炉窑中应用为广泛的一种,它将高温陶瓷耐火纤维折叠成风琴状,同时预埋金属锚固件,并给予一定压缩量制成纤维模块,安装成型后,模块间相互挤压形成一个无缝隙的整体隔热炉衬。该型式炉衬由于采用具有优良隔热保温性能的全纤维材料结构,因此具有优良的节电性能,结构上热震稳定性好,耐急冷急热。
真空退火炉炉台导电电极箱
炉台导电电极箱:炉台上的加热元件的加热电源是由门口部的电极箱供给的,电极箱由定插和动插刀等组成,插刀和插头均采用铜材,插头安装板材质为聚二醚层压玻璃布板,安装连接简单可靠;保证了炉罩供电方式接触的准确性和可靠性。
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