退火炉

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退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，立式真空炉公司，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

真空退火炉

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炉体密封性。光亮退火炉应是封闭的，与外界空气隔绝；采用氢气作保护气的，只有一个排气口是通的（用来点燃排出的氢气）。检查的方法可以用肥皂水抹在退火炉各个接头缝隙处，立式真空炉供应商，看是否跑气；其中容易跑气的地方是退火炉进管子的地方和出管子的地方，立式真空炉多少钱，这个地方的密封圈特别容易磨损，要经常检查经常换。

退火炉按热源分类

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退火炉按热源分类主要有电热炉、燃煤退火炉、燃油退火炉、退火炉、煤气退火炉等，其中以自备煤气发生炉所产煤气退火炉应用广泛。煤气退火窑减去了燃烧室，直接利用煤气烧嘴在加热室喷射燃烧。为了降低能耗，煤气退火窑往往配有换热系统，将空气转换为助燃热风进行煤气的助燃。

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