真空退火炉冷却系统

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1、打开进水阀门，点动水泵电机按钮开关，看电机转向是否正确；

2、启动水泵，检查主水管路有无渗漏水现象及压力表压力指示是否正常；

3、打开机械泵进水阀门，检查机械泵进水、回水管路各接头处有无渗漏水现象，若有则处理；

4、按照步骤3依次对罗茨泵、扩散泵、水冷挡板、炉门、炉胆水套的冷却水管路进行检查；

退火炉怎么升温

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1、在控制柜内合上空气开关后在柜面上开通电源安钮，

2、虽后再分别开通一区、二区、三区......电源安钮开关。

3、把控温仪设置在200度保温6小时，再设置在500度保温4小时，热处理真空炉报价，再设置在800度保温2小时后可以装料使用了。

退火炉

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退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，高压真空炉报价，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

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