退火炉
湘潭华宇电炉制造有限公司是各类工业电炉的***生产厂家,公司湘潭华宇电炉制造有限公司积数十年开发生产工业电炉成套设备的经验,拥有雄厚的技术力量及非标设备的设计、制造能力,产品用户遍布***各地。近几年积累了丰富的不锈钢结构件的加工经验,具有较强的不锈钢结构件的加工能力。
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
退火炉结构
退火炉骨架由各种型钢焊接而成,外框用槽钢作主梁,围板采用冷薄板,台车退火炉用槽钢作主梁,底板及前后端板采用中板。
退火炉传动部分:台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。炉门传动是采用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。
根据缓冷段的工作原理,初步分析是该处存在的热膨胀不一致导致槽钢开裂,山于循环风机的循环冷却抽吸作用产生的负压将权气带人炉内,使得该段氧含量偏高不进行钢种规格E7J换时,炉况稳定;而一旦钢种规格切换、温变频繁时,开裂处将会进一步恶化且炉况难以保持稳定
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