退火炉
湘潭华宇电炉制造有限公司是各类工业电炉的***生产厂家,公司湘潭华宇电炉制造有限公司积数十年开发生产工业电炉成套设备的经验,拥有雄厚的技术力量及非标设备的设计、制造能力,产品用户遍布***各地。近几年积累了丰富的不锈钢结构件的加工经验,具有较强的不锈钢结构件的加工能力。
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
真空退火炉的功能
控制部分的主回路和控制回路分开,均配有空气开关和断路器作为操作单元,既有利于调试及维修又能对系统的短路和过载进行可靠的保护。整个控制系统具有升温设定、锁定、故障报警、温度记录等功能。温度控制采用引进智能型***PID自整定程序控制调节方式,可控制固态可控集成调功模块的连续输出,将炉温控制在理想状态,控制精度高(±1℃),炉温均匀性好。同时在一定范围内可手动设定功率大小,协调各区间功率比例,扩展该炉使用功能,减小热惯性。该多区段炉可以通过此功能调节,能实现各区间接近同步升温保温降温,的满足产品在炉内的热处理工艺的温度均衡性,减少了热不均形变。
真空退火炉
料车推拉机构
1、点动减速机电机按钮,检查电机转向是否符合推拉方向要求;
2、把推拉杆挂上料车,启动按钮把料车在全程范围内跑动几次,检查各连接处、车轮及轴承处有无异常;
3、.检查推拉小车前后限位的动作情况是否正常;
4、检查炉门的开启和关闭有无卡塞现象;
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