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涡轮分子泵的抽气原理
利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件:1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供保护。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm ,即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ,就可能与第二个气体分子相碰。而在 1.3Pa 时,分子间平均自由程可达 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时,气体分子就会较多地射向转子和定子叶片,为形成气体分子的定向运动打下基础。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利。实践表明,对不同分子量的气体分子其速度越大,泵抽除越困难。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
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应用:
Edwa*** EXT40020030ipx涡轮分子泵专门用于Shimadzu Agilent ABI Bruker等质谱仪,
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一、油封机械真空泵工作原理
用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油封机械真空泵。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得xiao时,与泵的入口管道连通,于是气体进入泵吸入腔,一直到吸入腔容积da并重新与进气口分开时为止。当容积减少时,气体被压缩,直到气体的压力大于一个大气压,排气阀被打开,将气体排出。
二、用油作密封泵液的必要性
当前大量使用的机械真空泵,即使设计得***好,相向运动的零件间配合精度即使很高。3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等4.拆掉润滑的油包5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。在泵达到极限真空时,也难以阻止气体由低真空端向入口端“突破”返流。另外,由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在***空间,这也降低泵的极限真空度。油封机械真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来;将***空间充填,使得高压气体反“突破”的机会少得多,密封性能也就好得多,从而使泵能达到较高的真空度。
三、油封机械真空泵的应用
油封式旋转机械真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。3、用水冷却的真空泵,应防止冷却水中断,真空泵温不得超过70度。目前,油封机械真空泵是国内真空获得技术中应用广的一种泵,它可单独用作低真空设备的排气用泵,也可用作高真空排气时的前级真空泵。因此,它已在国民经济的很多部门,例如电真空、电子、轻化工、钢铁、有色冶炼等工业部门中发挥着越来越大的作用。由于这类泵均装有气镇装置,故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆za性、对黑色金属有腐蚀性,对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。 目前,国内的许多研究单位和生产厂家正在设计和生产出抽除水蒸气和耐腐蚀的油封真空泵系列。随着新技术、新材料的发展和应用,性能更好的、能满足各种工业需要的、适应能力强的各种油封机械真空泵必将生产出来
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