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广州潽拓光电---广州现货 Pfeiffer普发Splitflow 310-3P分子泵
普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵维修,Pfeiffer Splitflow 310-3P德国普发分子泵是用在氦质谱检漏仪设备上,Pfeiffer Splitflow 310-3P抽速可达到250 L/s,转速为60000rpm,德国普发Splitflow 310-3P分子泵对应的控制器为: Pfeiffer T***00。4分子泵应用:分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析半导体:PVDinspectionbondingMBEload-locks工业:***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造。
Pfeiffer 普发涡轮分子泵 SplitFlow,分流式涡轮分子泵,抽速高达 53 l/s 和在中间抽吸装置上抽速0.15 l/s(N2),可取代多款涡轮分子泵,单独机械和真空结构设计,特别适合分析研发行业。
Pfeiffer普发涡轮分子泵SplitFlow优点:
防护类型 IP 54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
紧凑设计,占地空间小
对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比
运行数据监控保证分子泵运行安全性
集成分子泵控制器
广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。典型应用-中高真空范围多用途压强测量与控制-真空炉-分析仪器-溅射和真空镀膜。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
广州潽拓——皮拉尼规出售
型号:(PSG 400, PSG400-S, PSG 100-S, PSG 101-S)
皮拉尼/冷阴极规
(PCG400, PCG400-S)
冷阴极规
(PEG100)
热阴极规
(BAG100-S, BAG 101-S)
热阴极/皮拉尼规
(BPG400)
线性规(电容规)
(无传感器)
潽拓——pfeiffer分子泵维修工厂,分子泵
PFEIFFER Hipace 80分子泵 维修(PUTUOVAC VACUUM)
广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理
电动机/驱动器能够提供旋转频率高达 1,500 Hz (90,000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。?4、在使用完真空泵后,应对真空泵进行放,长时间停机启动真空泵前,应断续多次启动真空泵?5、应定期更换真空泵油,一般3~6个月进行一次更换,如发现泵油乳化、碳化等情况,还应及时更换真空泵专用油。这使得叶片速度是泵送气体所必需的。如今,驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电,通过外部电源包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流。
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