本公司专业于光盘行业,半导体行业,真空镀膜业,光磁媒体业, 薄膜太阳能行业及科研行业所用的高真空设备提供维修和备件销售工作，尤擅长维修各类分子泵和分子泵驱动器，高真空探头及其驱动器,AE/射频电源维修。是国内一家使用动平衡调整回复原厂测试服务维修公司,也是国内目前维修时效快的公司.应客户要求，于2016年在广州设立维修办事处，专业从事客户服务，对各类分子泵和分子泵驱动器，高真空探头及其驱动器进行维修。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。

简单化解真空泵常见故障

真空泵维修

东西使用久了，难免会损坏，真空泵被大规模的使用到很多工业领域，那真空泵坏了要怎么办呢？真空泵维修方法有哪些？今天我们就一起学习了解下真空泵维修的相关内容介绍。

问题一：漏油问题

问题解决：旋片式机械真空泵常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁

问题二：真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。

问题解决：这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：

1、电机烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。前级耐压高前级耐压高达18mbar,最da的优点是可以配更小的前级泵,如V301的分子泵只需配5m3/hr的SH-100的干泵或DS-102机械泵作为前级泵既可满足要求。

2、旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。该系列产品紧设计紧凑，采用可靠的陶瓷滚珠轴承且操作简单，适用于所有高真空和超高真空场合。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。

问题三、抽不到真空泵的极限真空度。

问题解决：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

在排除以上两个因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要换油；泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门；

长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。

广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力雄厚，充满活力的高素质团队。

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