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广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。另外,因为搭载与本体相连的无线控制模式,可以灵活的运用遥控器。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
广州潽拓光电——INFICON VCC500自动压强控制仪,压力控制系统维修调试
INFICON VGD500真空计显示器适用于连接我们的CDG系列的真空计,VGD500真空计显示器产品线提供一个4位数字显示。广州潽拓光电***的服务团队,精湛的服务技术,快捷的服务流程,为客户提供了方便、***全*、可靠的真空解决方案。它是一个小单位,以显示压力表的压力。压力读数可选择的压力单位为乇,毫,毫巴和PA。连接表测量范围(F.S.)0.1mbar/Torr to 1000mbar/Torr:CDG025D/-S, CDG025D-X3, CDG045D,CDG200D, CDG025D2 ... CDG100D2
优势:
4位数字显示
在线路安装
紧凑型小尺寸
操作范围宽0.1torr到1000torr
4种可选压力单位(乇,毫,毫巴,PA)
数字信号处理
D-SUB 15针
CE认证
维护自由
技术规范:型号VGD500
广州潽拓光电——TV301分子泵
特点:
功耗更低、性能更加
通过减少发热而节能,并提高可靠性
可拆卸的前级连接器
可连接各种前级泵
冷却方式灵活(风冷或水冷)
为风冷而优化的冷却翘片
通过降低工作温度进一步提高可靠性
泵具有优化的几何尺寸
功率要求低,前级耐压高及可承高气载
广州潽拓光电科技——出售Varian TV551分子泵
瓦里安Varian TV551涡轮分子泵共有四种规格
Varian Turbo-V 551 泵提供从 350 至 510 升/秒(视气体而定)的抽速,并且采用 产品线中****的技术。??2,每星期检查一次油位和油的颜色状况,如果油位低于标记,要添加油之后再使用,如果油位超过了大标记,说明有外部物质进入,检查油质,根据情况放掉部分油,或全部更换新真空泵油,必要时要做更换气镇阀处理。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计,可以在低压强内实现高压缩比,在大抽气量和高前级压强是实现*大的压差。该泵为无油、无污染型,并且具有非常低的故障率,可以在任何角度工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。
上图为Varian TV551 对应口径为ISO100,
Varian TV551对应不同的口径,不同订货号的如下(内置分子泵电源)
Varian TV551 Model 969-8832 with ISO 160 high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-8842 with ISO 160 F high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-8833 with ConFlat 8. external diameter high vacuum flange;Varian TV551 Model 969-98834 with ISO 100 high vacuum flange;
Varian TV551 Model 969-8835 with ConFlat 6. external diameter high vacuum flange.
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