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作者:潽拓光电2020/8/26 4:48:49






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大阪真空的涡轮分子泵(复合分子泵)的主要特点:

●无油的超真空环境

●机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

●可排稀有气体和腐蚀性气体

●可连续排大流量气体

●可工作的压力范围(~10-10Pa)





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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵维修,安捷伦Turbo-V 1K-G分子泵***


特点:

Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化,可以在高流速的气氛围下和温度极高的环境中工作。另外,可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的真空解决方案。











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