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ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项：
*内置加热带可以帮助泵运行在较高温度（gao75摄氏度），从而避免沉积物的累积；
*加热带由控制器进行温度控制，ATHMT型分子泵已随泵携带冷却水阀
*分子泵转速的调节——待机转速
—ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在di待机转速与额定转速之间，这样可以根据客户的工艺情况（如运行在较gao压力下）使泵运行在***优状态。
gao转速—34000 rpm（ATH 1300M/MT）
*磁悬浮分子泵的安装要求
---磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高，泵出现机械故障或者发生意外时，没有正确安装的泵完全可能由于动能传递到泵体而使得泵脱离设备从而造成事故
---当泵在运行过程中转子突然卡死时，转子的动能将被传递到泵体和设备上
---通过模拟分子泵损坏时的坏状况（转子在全速时碎成两半）
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广州潽拓光电科技出售普发Pfeiffer Splitflow 310-3P分子泵
德国普发SPLITFlow 310 -3p 抽速：210 L/S 转速：60000 r/min SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 分子泵泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。 普发SPLITFlow 310 3p涡轮分子泵 对氢为102～104；LEYBOLD莱宝依托其强大的***销售和服务网络为广大客户提供真空技术解决方案。 对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。
PFEIFFER SPLITFlow310 3p 整体310比290的长度要长！可以抽的接口面积要da！广州潽拓光电真空泵油的性能要求：1，高温下饱和蒸汽压要低，易挥发成份要少。 SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 为便携式分析系统开发的小型涡轮分子泵的抽速范围介于 10 l/s 到 0.1 l/s 之间。 涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成，重量xiao化， 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整? SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。
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广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新技术）。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。典型应用-中高真空范围多用途压强测量与控制-真空炉-分析仪器-溅射和真空镀膜。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计，包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途：
溅射
离子注入源，射束线泵送和站
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
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