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作者:潽拓光电2020/8/24 9:43:56






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真空泵的使用注意事项与故障处理

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。接下来广州潽拓光电为你介绍全真空泵维修方法!



一、真空泵的维修

旋片真空泵长期使用后,会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象,此时必须对真空泵进行拆洗。其步骤为,

1、切断电源,将真空泵从真空系统上卸下,

2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来,以免污染环境;

3、卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);

4、先拆低真空端,取下后端盖,再取出低真空转子、旋片及弹簧等;

5、将前端盖拆下,取出高真空转子、旋片及弹簧等;

6、取下视镜、排气阀、排气盖等;

7、将所拆下的金属零件用qi油彻底清洗干净,并用酒精脱水。橡胶零件可用15%的化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件.可用油石或金相砂纸轻轻地研磨,以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干;

8、装配时,先装后级,将弹簧、旋片托起装入转子内,然后放入真空泵腔.装上前端盖.再装***销.均匀对称地拧紧螺钉。装配后.应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后,再装排气阀(排气阀片应贴紧阀座)及其它件,如气镇装置等。

维修真空泵注意事项:

1、应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线,应及时加油,杏则.会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多,否则会引起起动困难,喷油等问题。

2、应经常注意真空泵运转是否正常,有无特殊声响,机是否超负荷运转,电机积真空泵的温开是否过高等。

3、用水冷却的真空泵,应防止冷却水中断,真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度,停机后应将真空泵内冷却水放净,以防真空泵体冻裂。

4、真空泵应经带保持清洁,真空泵上不得放置其它物件。

5、注意皮带松紧是杏适当.必要时应调整或更换。

6、应每年定期更换了1~3次真空泵油)。真空熔炼用的机械真空泵,每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中,真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化,影晌真空泵的性能,因此,需要根据具体情况定期换油。











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功能和优势

-***的转子技术

-无油

-低振动

-高度可靠

-免维护

-***的控制器设计

-自动调整

-自行诊断功能

-直流电机驱动

-无电池运行

-紧凑型设计

-占地面积小

-半机架控制器

应用

-金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)

-电子回旋共振

-(ECR) 刻蚀

-光致抗蚀剂脱模

-晶体/晶膜生长

-晶片检查

-负载锁真空腔

-科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜

-高能物理:射束线

应用:融合系统、回旋




广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及***维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力雄厚,充满活力的高素质团队。Edwa***RV系列真空泵已售出超过200,000台,为行业树立了新标准。伴着严谨的内部项目实施管理,控制制流程,确保每一项真空设备的工艺技术***性和质量的可靠性。主要从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,太阳能电池板等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,承接等,是leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian)等一线品牌分子泵***维修厂商。

广州潽拓光电出售Edwa*** RV5旋片真空泵

Edwa***旋片真空泵产品特点:

Edwa*** RV 泵已经成为一次泵科学应用方面的行业标准。 RV 泵独具特色,能够以高真空提供高吞吐量或低吞吐量。 这一特点以及噪音低的优势使之成为广泛适用于各种应用(包括 GCMS 和其他小工作台式应用)的理想产品。

所有泵产品均经外部测试机构检验,符合 UL 和 CSA 标准。 Edwa*** 拥有遍布***的网络,在世界各地对产品应用和服务提供支持。

Edwa*** RV系列旋转式叶片泵基于超过 75 年的经验 和全新设计计划以产生小型油封旋转式叶片泵的范围。 Edwa*** RV 系列真空泵已售出超过 200,000 台,为行业树立了新标准。这一成功基于在广泛的应用和环境中经过现场验证的设计和可靠性。

性能特点

噪声48dBA,da程度减少干扰频率双模式,适用于高通量和高真空应用气镇模式使用简易随动式进气口液压阀,为系统提供回油保护高转矩,双压/双频电机,电启动继电器旋片为高技术聚合物,直径大,油路易于清洁润滑高压嵌入式观察窗铸造结构,质量恒定


潽拓——{精},真空泵

广州潽拓光电现货Edwa*** next 240分子泵


技术指标:

极限真空(ISO/CF,RV前级泵)lt;6×10-8/lt;5×10-10 mbar

推荐前级泵*RV12/nXDS10i

水冷(水温15°C,环境温度40°C)45sccm

空冷(环境温度35°C)30sccm


泵转速:

标称转速60000rpm

待机转速33000~60000rpm可调(缺省42000 rpm)

功率范围50~200W可调(缺省160W)

冷却方式#空冷/水

冷空冷环境温度5~35°C

水温范围10~20°C



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