Edwa***真空分子泵作用信息推荐,广州潽拓光电
作者:潽拓光电2020/8/20 22:36:47






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EDWA*** E2M40系统双极油封旋转叶片真空泵因其高的真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸气而享有盛誉。

这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供保护。

提供各种附近,因此可用于广泛的真空应用。

功能和优势

***的油压可提供有效的润滑(即使是在高气体负荷下)

当泵关闭时,弹簧式分配阀可提供油和空气反吸保护

气镇控制可帮助处理高水蒸负荷

传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承,可靠性高,使用寿命和无故障工作时间也更长

通过全高度油品观察窗可方便地检查油位和相关情况

提供了各种附件,可满足您的应用需求

泵和附件可以作为单个部件提供,也可以作为完整系统化、经过出厂测试的组合提供。





我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwa***,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一线品牌分子泵,真空泵,真空计***维修***/销售等业务。旋片真空泵的清洗为了清洁旋片真空泵而没有明显的故障,泵一般不拆卸,只有旧油和污垢从排油孔排出,新的真空泵油(用于清洗)从带漏斗的进气口。

广州潽拓光电——成功维修Edwa*** RV5真空泵

Edwa***旋片真空泵产品应用:

湿泵应用

分析仪器 - LCMS

蒸馏、萃取、过滤、冷冻干燥、凝胶体干燥、溶剂回收、离心蒸发

多尘应用

熔炉、脱气

清洁干燥应用

分析仪器 - GCMS

离心机、镀膜、前级涡轮泵、气瓶充气/排空、泄漏探测器、负载锁、电子显微镜

Edwa*** RV5旋片真空泵 产品型号及附件:

EDWA*** 爱德华EM 系列 E1M5, E1M8, E1M12, E1M18, E1M30,E1M40, E1M80, E1M175, E1M275, E2M0.7, E2M1, E2M1.5, E2M2, E2M5, E2M8, E2M12,E2M18 , E2M28, E2M30, E2M40, E2M80, E2M175, E2M275


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爱德华STP-iXA3306CV_Edwa*** STP-iXA3306CV涡轮分子泵


EDWA*** STP-iXA3306CV分子泵用途:

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

溅射

离子注入源,射束线泵送和站

金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和化物)

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀






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