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法国ALCATEL阿尔卡特真空泵详细说明
广州潽拓光电——法国ALCATEL阿尔卡特真空泵
真空泵的作用:真空泵是用来抽吸空气,以便在密闭容器内形成一定的真空度,用于真空保鲜、真空搬运、真空成型、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮、真空干燥、真空冶炼、真空除气等工艺过程。
ALCATEL阿尔卡特单级旋片油润真空泵1004A,1012A,1030,1033,1060,1063
ALCATEL阿尔卡特双级旋片油润真空泵I系列2002I, 2005I, 2010I, 2015I, 2021I;
ALCATEL阿尔卡特SD系列2005SD, 2010SD, 2021SD, 2021SD, 2033SD,
2063SD, 2100SD;
ALCATEL阿尔卡特C1系列2005C1, 2010C1, 2021C1, 2033C1, 2063C1,
2100C1;
广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计,可以在低压强内实现高压缩比,在大抽气量和高前级压强是实现*大的压差。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
广州潽拓光电——PFEIFFER PKR251真空计
大型伺服控制系统:伺服是使物体的位置、方位、状态等输出被控量能够跟随输入目标(或给定值)的任意变化的自动控制系统。它的主要任务是按控制命令的要求、对功率进行放大、变换与调控处理,使驱动装置输出的力矩、速度和位置控制的非常灵活方便。
*全量程真空计 pkr 360 /361 与 pkr 251 /261 对比主要区别:
1、更小量程:1e-9 hpa (旧款真空计: 5e-9 hpa)
2、更紧凑的设计,更小尺寸:
3、***小化磁漏,磁场更弱
4、新款真空计内部密封圈采用金属材质
5、根据客户实际应用,提供强/弱电流型号供选择
6、创新双腔室设计,更少的零部件,使用寿命更长
法兰尺寸 DN 25 ISO-KF,DN40 ISO-KF
测量范围 5·10-9- 1000 hPa
外壳内两根测量管(Pirani 和冷阴极(反磁控管)
法兰从大气到 UHV
耐腐蚀
适用于惰性气体的***高压力和温度范围 lt; 55 °C
单个法兰即可实现从大气到 UHV
显示范围从 5 · 10-9至 1000
hPa
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