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广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内***的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于BOC STP-iXA3305 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。VarianTV551Model969-8833withConFlat8。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，包括完全集成的控制器

创新性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

广州潽拓光电——TV301分子泵

特点：

功耗更低、性能更加

通过减少发热而节能，并提高可靠性

可拆卸的前级连接器

可连接各种前级泵

冷却方式灵活（风冷或水冷）

为风冷而优化的冷却翘片

通过降低工作温度进一步提高可靠性

泵具有优化的几何尺寸

功率要求低，前级耐压高及可承高气载

nEXT240D是一款采用混合轴承的新型复合涡轮分子泵，用以代替EXT255H和EXT255DX涡轮分子泵，其接口法兰有ISO100和CF100两种，对N2的抽速为240l/s。nEXT在以前产品的基础上改进轴承技术，下轴承为油润滑陶瓷轴承，上轴承为*磁悬浮轴承，使得用户就可以自行维护；同时改进转子设计，增加一个分子拖曳级，提高了泵速和压缩比。nEXT泵的电机驱动电压为24~48V DC，与DX泵和TIC控制器兼容，这样一台nEXT240D泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级泵就可以组成一套基本的抽真空系统。4分子泵应用：分析仪器：电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析半导体：PVDinspectionbondingMBEload-locks工业：***技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造。

结构特点

（1)泵总体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重xin较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。性能特点：空气排出彻底，噪音小稳定可靠性强易于使用和维护气镇调节，***的水蒸气处理性能高真空，高抽量模式切换专利技术应用领域高真空模式。这种泵结构重xin低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重xin较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

（2)泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。密封——防止大气进入排气阀，有相对运动零件间的间隙密封（转子与定子，旋片与转子槽等）2。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的***大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重xin偏向电动机和齿轮箱一侧

性能特点

● 转子设计技术***，大大提高抽气速率和压缩比。

● 日常维护用户就可以进行，无需复杂工具，拆卸简单。

● 设计紧凑，性能优越，利于系统集成。

● 与Edward* TIC涡轮仪表控制器兼容，可以连接3个真空规，无需再配备其它真空规控制器。

● 通过RoHS认证和CSA/UL认证。

广州潽拓——ShimadzuTMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修（PUTUOVAC VACUUM）

参数如下：

广州潽拓光电——ShimadzuTMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修*** 二手分子泵浦

Shimadzu TMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修，日本岛津 TMP-V2304LM磁悬浮涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到完全无油、免维护、全*位安装的涡轮分子泵，Shimadzu TMP-V2304LM分子泵进气法兰口VG250/ISO250B，出气法兰口KF40，抽速可达到2100 L/s，转速为33700 rpm，日本岛津磁悬浮TMP-V2304LM分子泵自带控制器。广州潽拓光电——爱发科HELIOT900检漏仪，原厂采购，价格优惠Heliot900系列氦质谱检漏仪：1、高便利性触摸屏采用在静电容量方式的触摸板的7英寸触摸屏，显示器完全从本体分离出来，可以通过附属的专用控制台来配合合适的版面使用方法。

广州潽拓光电——

SHIMADZU电源一体型分子泵特点：

? 强化了抽气性能

? 无需外接电源

? 外形紧

? 节省能源

?

无需安装电缆线或安装控制架

分子泵(Turbo Molecular

Pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。SHIMADZU岛津分子泵有着世界高水准的排气能力，并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求。

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