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分子泵的清洗：

一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在固定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其他的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵已经有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。直接清洗的方法如下:

1.关掉分子泵，进行排气

2.从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。

3.拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等

4.拆掉润滑的油包

5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个合适的容器中

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