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作者：潽拓光电2020/6/12 21:54:46

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leybold TW400/300/25S 德国莱宝分子泵是专用的分流分子泵，Leybold TW400/300/25S 转速为48000rpm,能同时抽取三个腔体的真空，对应的流量分别为400L/s， 300L/s及25L/s，广州潽拓光电公司***从事Leybold TW400/300/25S 德国莱宝分子泵维修工作

nEXT240D是一款采用混合轴承的新型复合涡轮分子泵，用以代替EXT255H和EXT255DX涡轮分子泵，其接口法兰有ISO100和CF100两种，对N2的抽速为240l/s。德国Pfeiffer真空泵产品特点：PFEIFFER总公司位于德国ASSLAR，作为真空技术的引*者，普发真空不断研发、生产性能***、运行可靠的真空产品。nEXT在以前产品的基础上改进轴承技术，下轴承为油润滑陶瓷轴承，上轴承为*磁悬浮轴承，使得用户就可以自行维护；同时改进转子设计，增加一个分子拖曳级，提高了泵速和压缩比。nEXT泵的电机驱动电压为24~48V DC，与DX泵和TIC控制器兼容，这样一台nEXT240D泵、一台TIC控制器、一个空冷或水冷附件，再选用一台合适的前级泵就可以组成一套基本的抽真空系统。

结构特点

（1)泵总体结构型式

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。

立式结构的进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重xin较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。

卧式泵的进气口在上，排气口在下。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Ｑs=Ｓκ（Ｔ－Ｔ0）/Ｌ（3）Ｑr=πｄａσε（Ｔ4－Ｔ04）（4）（3）是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重xin低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。

泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重xin较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。

（2)泵的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。广州潽拓光电——SHIMADZU电源一体型分子泵特点：?强化了抽气性能?无需外接电源?外形紧?节省能源?无需安装电缆线或安装控制架分子泵(TurboMolecularPump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的***大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重xin偏向电动机和齿轮箱一侧